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SMC高真空阀 动作方式:轴密封方式 阀形式 材质 法兰尺寸 XMA/XYA 气控:波纹管密封 单作用 （N.C.） 阀体材质:不锈钢: SCS13 波纹管：SUS316L XMC/XYC 双作用 波纹管 阀体：SCS13 XMD/XYD 波纹管 单作用 阀体：SCS13 XMH/XYH

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